マイクロ波水素プラズマを用いたオンサイトシラン生成器の開発とその応用
マイクロ波水素プラズマを用いたオンサイトシラン生成器の開発とその応用
复制标题
微波氢等离子体现场硅烷发生器的研制及其应用
DOI：
--
复制
发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Tien-Dat Hoang;Yutaro Abe;Shinya Nakamura;Akio Miyoshi;Naoki Takano;武居則久，垣内弘章，安武潔，大参宏昌
