摩耗を伴うパターン形成現象の動吸振器による遅延対策
摩耗を伴うパターン形成現象の動吸振器による遅延対策
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使用动态吸振器来应对因磨损而导致的图案形成延迟的措施
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
日高孝平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
野口聡司;末岡淳男;松崎健一郎;劉孝宏;森田英俊;日高孝平
