プラズマ・固体表面界面反応制御－表面ラフネスとリップルの形成機構と制御－
プラズマ・固体表面界面反応制御－表面ラフネスとリップルの形成機構と制御－
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等离子体/固体表面界面反应控制-表面粗糙度和波纹的形成机理及控制-
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斧 高一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
沖野友哉;鍋川康夫;緑川克美;斧 高一
