白谷 正治: "Study on Growth Processes of parliculatesin Helium-Diluted Silane RF Plasmas using scanning electron microscopy" Appl.Phys.Lett.65. 1900-1902 (1994)
白谷 正治: "Study on Growth Processes of parliculatesin Helium-Diluted Silane RF Plasmas using scanning electron microscopy" Appl.Phys.Lett.65. 1900-1902 (1994)
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Masaharu Shiratani：“使用扫描电子显微镜研究氦稀释硅烷射频等离子体中的颗粒生长过程”Appl.Phys.Lett.65 1900-1902 (1994)。
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