S.Hirohata,T.Kosugi,H.Sawaragi,R,Aihara,K.Gamo: "Aberration Properties of FIB Induced by Space Charge Effect" J.Vac.Sci.Technol.発表予定.
S.Hirohata,T.Kosugi,H.Sawaragi,R,Aihara,K.Gamo: "Aberration Properties of FIB Induced by Space Charge Effect" J.Vac.Sci.Technol.発表予定.
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S. Hirohata、T. Kosugi、H. Sawaragi、R、Aihara、K. Gamo：“空间电荷效应引起的 FIB 的像差特性”J. Vac。
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