The stress reduction effect by interlayer deposition or film thickness for diamond like carbon on rough surface
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DOI：
10.1016/j.diamond.2010.01.015
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发表时间：
2010-05
影响因子：
4.1
通讯作者：
Chehung Wei;Jui-Feng Yang;F. Tai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Chehung Wei;Jui-Feng Yang;F. Tai
