Si直上Y:HfO2エピタキシャル薄膜の界面誘電特性
Si直上Y:HfO2エピタキシャル薄膜の界面誘電特性
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Si 上直接外延 Y:HfO2 薄膜的界面介电性能
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藤村 紀文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
佐保 勇樹;宝栄 周弥;高田 賢志;吉村 武;藤村 紀文
