Flow property measurements for nanoimprint simulation
Flow property measurements for nanoimprint simulation
复制标题
纳米压印模拟的流动特性测量
DOI：
10.1016/j.mee.2007.01.065
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发表时间：
2007
影响因子：
2.3
通讯作者：
N. Chaix
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Lévéder;S. Landis;L. Davoust;N. Chaix
