Influences of substrate temperature on crystalline characteristics and mechanical properties of SiNx films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering
Influences of substrate temperature on crystalline characteristics and mechanical properties of SiNx films deposited by microwave electron cyclotron resonance magnetron sputtering
复制标题
衬底温度对微波电子回旋共振磁控溅射SiNx薄膜晶体特性和力学性能的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Deng Xin-Lu
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Ding Wan-Yu;Lu Wen-Qi;Xu jun;Dong Chuang;Deng Xin-Lu
