Dc self-bias voltages in radio frequency magnetron discharges
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DOI：
10.1016/j.tsf.2005.08.111
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发表时间：
2006-05
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
S. Yonemura;K. Nanbu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yonemura;K. Nanbu
