Chemical Mechanical Polishing of Transparent Conductive Layers Using Spherical Cationic Polymer Microbeads
Chemical Mechanical Polishing of Transparent Conductive Layers Using Spherical Cationic Polymer Microbeads
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使用球形阳离子聚合物微珠对透明导电层进行化学机械抛光
DOI：
10.1016/j.tsf.2014.12.028
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Hirotaka Ihara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Shoji Nagaoka;Naoya Ryu;Aikinori Yamanouchi;Tomohiro Shirosaki;Maki Horikawa;Hideo Sakurai;Makoto Takafuji;Hirotaka Ihara
