MEMS 振動子のための零熱膨張率ガラスの反応性イオンエッチング
MEMS 振動子のための零熱膨張率ガラスの反応性イオンエッチング
复制标题
MEMS 谐振器零热膨胀玻璃的反应离子蚀刻
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田中秀治
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小代洸太; 塚本貴城;田中秀治
