Energy distribution of ions in an unbalanced magnetron plasma measured with energy-resolved mass spectrometry
Energy distribution of ions in an unbalanced magnetron plasma measured with energy-resolved mass spectrometry
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用能量分辨质谱测量不平衡磁控管等离子体中离子的能量分布
DOI：
10.1016/s0257-8972(96)03088-5
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发表时间：
1997
影响因子：
5.4
通讯作者：
L. Stals
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kadlec;C. Quaeyhaegens;G. Knuyt;L. Stals
