S.Sugahara, Y.Uchida, T.Kitamura, T.Nagai, M.Matsuyama, T.Hattori and M.Matsumura: "A Proposed Atomic-Layr-Deposition of Germanium on Si Surface" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36, No.3. 1609-1613 (1997)
S.Sugahara, Y.Uchida, T.Kitamura, T.Nagai, M.Matsuyama, T.Hattori and M.Matsumura: "A Proposed Atomic-Layr-Deposition of Germanium on Si Surface" Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36, No.3. 1609-1613 (1997)
复制标题
S.Sugahara、Y.Uchida、T.Kitamura、T.Nagai、M.Matsuyama、T.Hattori 和 M.Matsumura：“提议在硅表面上原子层沉积锗” Jpn.J.Appl.Phys。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
