差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め
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使用差动滚珠丝杠的毫冲程超精密定位
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takahiro Fuji; Yuichi Nakamura and Masahito Matsui;深田茂生,佐藤勇仁,三村徹也;中村裕一;三村徹也，深田茂生;中村裕一;深田茂生，佐藤勇仁，三村徹也
