FIB/EB 複合リソグラフィーにより作製したカーボンナノ振動子の特性評価
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FIB/EB组合光刻法制备碳纳米振荡器的特性评估
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
宮田 雄斗，割澤 伸一，石原 直，米谷 玲皇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大高理;船守展正（編）;M. Kawai and Y. Ishizuka;宮田 雄斗，割澤 伸一，石原 直，米谷 玲皇
