KUMAGAI,HIROSHI: "A HIGH-EFFICIENCY OPERATION OF A MICROWAVE DISCHARGE-PUMPED ArF(B 【.scharw】 X) EXCIMER LAMP" JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. (1989)
KUMAGAI,HIROSHI: "A HIGH-EFFICIENCY OPERATION OF A MICROWAVE DISCHARGE-PUMPED ArF(B 【.scharw】 X) EXCIMER LAMP" JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. (1989)
复制标题
Kumagai, HIROSHI：“微波放电泵 ArF(B [.scharw] X) 准分子灯的高效操作”应用物理学杂志 (1989)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
