Transparent and water repellent ceria film grown by atomic layer deposition
Transparent and water repellent ceria film grown by atomic layer deposition
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通过原子层沉积生长透明且防水的氧化铈薄膜
DOI：
10.1016/j.surfcoat.2017.01.058
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发表时间：
2017-06
影响因子：
5.4
通讯作者：
邓淞文
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
吕起鹏;张绍骞;邓淞文
采用原子层沉积法（ALD）制备了透明疏水的氧化铈薄膜.用测角法、原子力显微镜、X射线光电子能谱和可变角椭圆偏振光谱仪对氧化铈涂层进行了表征。研究了氧化铈涂层的疏水性，其中水接触角达到高达105°。研究了退火或表面弛豫对疏水性的影响。进行二氧化铈表面的表面化学分析以理解对ALD涂层的润湿性的表面处理。所提出的ALD氧化铈膜提供了覆盖精细光学透镜例如带通滤波器的疏水涂层的优点。
Transparent and hydrophobic ceria film was fabricated by atomic layer deposition (ALD). The ceria coatings were characterized by goniometry, atomic force microscopy, X-ray photoelectron spectroscopy and variable angles spectroscopic ellipsometry. The hydrophobicity of the ceria coatings was investigated with water contact angles achieving as high as 105°. The effect of annealing or surface relaxation on the hydrophobicity was studied. Surface chemistry analysis of the ceria surfaces was carried out to understand the surface treatment towards the wettability of the ALD coatings. The proposed ALD ceria film offers the advantages of hydrophobic coatings covering fine optical lens such as band-pass filter.
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DOI：
10.1109/tdei.1999.9286748
发表时间：
1999-12
影响因子：
3.1
作者：
Henrik Hillborg;U. Gedde
通讯作者：
Henrik Hillborg;U. Gedde
影响因子：
5.3
作者：
Jun Fan;Xiaodong Wu;Lei Yang;D. Weng
通讯作者：
Jun Fan;Xiaodong Wu;Lei Yang;D. Weng
影响因子：
29.4
作者：
Xia, F;Feng, L;Jiang, L
通讯作者：
Jiang, L
影响因子：
4.1
作者：
Kulinich, S. A.;Farzaneh, M.
通讯作者：
Farzaneh, M.
影响因子：
3.2
作者：
R. Doremus
通讯作者：
R. Doremus