Influence of Laser Plasma Soft X-Ray Irradiation on Crystallization of a-Si Film by Infrared Annealing
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激光等离子体软X射线照射对非晶硅薄膜红外退火晶化的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Naoya Kawamoto
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Naoto Matsuo;Nobuya Isoda;Akira Heya;Sho Amano;Shuji Miyamoto;Takayasu Mochizuki;and Naoya Kawamoto
