電子線誘起電流によるシリコンの疲労過程の微視観察

電子線誘起電流によるシリコンの疲労過程の微視観察
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电子束感应电流显微观察硅的疲劳过程

DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
梅原徳次
梅原徳次
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
平井隆太郎;神谷庄司;泉隼人;梅原徳次

文献摘要

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