Siドライエッチングを用いたタルボ干渉計用回折格子の作製
Siドライエッチングを用いたタルボ干渉計用回折格子の作製
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利用硅干法刻蚀制作塔尔博特干涉仪衍射光栅
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
徳岡篤,矢代航,野田大二,服部正
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Daiji Noda;Atsushi Tokuoka and Tadashi Hattori;中村翔,瀬戸雅宏,山部昌;野田大二,徳岡篤,服部正;中村翔，瀬戸雅宏，山部昌;野田大二,徳岡篤,香取めぐみ,南山康人,山下健治,西田諭史,服部正;中村翔,瀬戸雅宏,中島健太,打越伸一,山部昌;中村翔,瀬戸雅宏,中島健太,打越伸一,山部昌;野田大二,徳岡篤,服部正;中村翔，瀬戸雅宏，中島健太，打越伸一，山部昌;野田大二,徳岡篤,服部正;中村翔，瀬戸雅宏，中島健太，打越伸一，山部昌;徳岡篤,矢代航,野田大二,服部正
