Ge基板上での高温成長による弗化物RTDの欠陥制御
Ge基板上での高温成長による弗化物RTDの欠陥制御
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通过在 Ge 基底上高温生长来控制氟化物 RTD 中的缺陷
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
筒井一生
中科院分区:
文献类型:
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作者:
高橋慶太;林優士;萱沼良介;齊藤昇;筒井一生