集束イオンビーム照射誘起ダイヤモンド変質層における紫外線エッチングの酸素濃度依存性
集束イオンビーム照射誘起ダイヤモンド変質層における紫外線エッチングの酸素濃度依存性
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聚焦离子束辐照引起的金刚石变质层中紫外蚀刻的氧浓度依赖性
DOI:
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发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
神津知己,川堰宣隆,森田昇,西村一仁
中科院分区:
文献类型:
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作者:
山口誠,アフザル ハフィジー ビン モハマド ジャマル;神津知己,川堰宣隆,森田昇,西村一仁