Growth of TiN/AlN Superlattice by Pulsed Laser Deposition
Growth of TiN/AlN Superlattice by Pulsed Laser Deposition
复制标题
脉冲激光沉积生长 TiN/AlN 超晶格
DOI：
10.1557/proc-750-y5.4
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发表时间：
2002
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Narayan
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Haiyan Wang;Abhinav Gupta;A. Tiwari;Xinghang Zhang;J. Narayan
