諸貫 信行 他: "Fabrication of a Linear Motion Microsystem on a Si Wafer" International Journal of the JSPE. 30・2. 168-169 (1996)
諸貫 信行 他: "Fabrication of a Linear Motion Microsystem on a Si Wafer" International Journal of the JSPE. 30・2. 168-169 (1996)
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Nobuyuki Moronuki 等人：“Si 晶圆上线性运动微系统的制造”，JSPE 国际期刊 30・2（1996 年）。
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