A Novel Ultrahigh Vacuam Floating-type Low-Energy Ion Gun for High Resolution Depth Profiling
A Novel Ultrahigh Vacuam Floating-type Low-Energy Ion Gun for High Resolution Depth Profiling
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一种用于高分辨率深度分析的新型超高真空浮动式低能离子枪
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
R.Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Mizuhara;J.Kato;T.Nagatomi;Y.Takai;T.Aoyama;A.Yoshimoto;M.Inoue;R.Shimizu
