窒化物材料およびそれからなる圧電体並びにその圧電体を用いたＭＥＭＳデバイス、トランジスタ、インバーター、トランスデューサー、ＳＡＷデバイスおよび強誘電体メモリ
窒化物材料およびそれからなる圧電体並びにその圧電体を用いたＭＥＭＳデバイス、トランジスタ、インバーター、トランスデューサー、ＳＡＷデバイスおよび強誘電体メモリ
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氮化物材料、由其制成的压电体、以及使用该压电体的MEMS器件、晶体管、逆变器、换能器、SAW器件和铁电存储器
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发表时间：
2021
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