S-DLC膜の弾性表面波アクチュエータ摩擦駆動面への応用
S-DLC膜の弾性表面波アクチュエータ摩擦駆動面への応用
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S-DLC薄膜在声表面波执行器摩擦驱动面的应用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
水野毅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
高崎正也;藤井陽介;小谷浩之;足立雄介;大竹尚登;水野毅
