非凝集ナノサイズ粒子の気相堆積による薄膜構造の形成
非凝集ナノサイズ粒子の気相堆積による薄膜構造の形成
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通过气相沉积非团聚纳米尺寸颗粒形成薄膜结构
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
島田学
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石原悠;飯田大樹;島田学
