元素添加によるAlN系圧電薄膜の開発
元素添加によるAlN系圧電薄膜の開発
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添加元素的AlN基压电薄膜的开发
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
上原雅人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Christivana Mega;Obata Masao;Oda Tatsuki;上原雅人
