Retaining High Q Factors in Electrode-Less Aln-On-Si Bulk Mode Resonators with Non-Contact Electrical Drive

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采用非接触式电力驱动的无电极硅基铝体模式谐振器保持高品质因数

DOI：
10.1109/mems51670.2022.9699607
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发表时间：
2022
期刊：
Proc. of the 35th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2022
影响因子：
--
通讯作者：
Feng, Philip X.-L.
Feng, Philip X.-L.
中科院分区：
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文献类型：
--
作者：
Yousuf, S M;Liu, Yuncong;Zheng, Xu-Qian;Qamar, Afzaal;Rais-Zadeh, Mina;Feng, Philip X.-L.

文献摘要

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