プラズマ援用研磨法の開 発（ 第 13 報 ） -単結晶GaNの研磨における表面改質条件の最適化-
プラズマ援用研磨法の開 発（ 第 13 報 ） -単結晶GaNの研磨における表面改質条件の最適化-
复制标题
等离子辅助研磨方法的开发（第13次报告）-单晶GaN研磨时的表面改性条件的优化-
DOI：
--
复制
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
鄧輝;遠藤勝義;山村和也
