Erosion of focus rings in capacitively coupled plasma etching reactors
Erosion of focus rings in capacitively coupled plasma etching reactors
复制标题
电容耦合等离子体蚀刻反应器中聚焦环的腐蚀
DOI：
10.1116/6.0001225
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发表时间：
2021
影响因子：
2.9
通讯作者：
Kushner, Mark J.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Wang, Xifeng;Lee, Hyunjae;Nam, Sang Ki;Kushner, Mark J.
