電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価
電子線描画法を用いた超高感度 Siナノワイヤバイオセンサの作製と特性評価
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使用电子束光刻技术制造和表征超灵敏硅纳米线生物传感器
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
曾根逸人
中科院分区:
文献类型:
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作者:
邱亜威;新井出海;板橋芽比子;大澤郁弥;大嶋紀安;和泉孝志;張慧;曾根逸人