ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工
ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工
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宽带隙半导体衬底的原子级平坦化
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
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作者：
平田靖透;中嶋誠;末元徹;田島裕之;麻生佳子;木内陽子;松下能孝;大串研也;久保田章亀
