Toshiaki Yasui: "Development of 30cm Long Linear Sputtering Source Using ECR Discharge"Proceedings of 26th Int. Electric Propulsion Conference. (1999)
Toshiaki Yasui: "Development of 30cm Long Linear Sputtering Source Using ECR Discharge"Proceedings of 26th Int. Electric Propulsion Conference. (1999)
复制标题
Toshiaki Yasui:“利用 ECR 放电开发 30 厘米长的线性溅射源”第 26 届国际会议论文集。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: