バルクPVT基板上HVPE成長によるAlN自立基板の作製
バルクPVT基板上HVPE成長によるAlN自立基板の作製
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在块状 PVT 基板上通过 HVPE 生长制造 AlN 自支撑基板
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂巻龍之介
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeshi Ishiyama;Tsutomu Fujii;Yuya Ishii;Mitsuo Fukuda;坂巻龍之介
