Evaluation of Anisotropic Biaxial stress in Si1-xGex/Ge Mesa-Structure by Oil-Immersion Raman Spectroscopy
Evaluation of Anisotropic Biaxial stress in Si1-xGex/Ge Mesa-Structure by Oil-Immersion Raman Spectroscopy
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利用油浸拉曼光谱评估 Si1-xGex/Ge 台面结构中的各向异性双轴应力
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and A. Ogura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yamamoto;K. Takeuchi;R. Yokogawa;M. Tomita;D. Kosemura K. Usuda;and A. Ogura
