高周波マグネトロン同時スパッタ法により形成したSiC-TiおよびSiC-Al薄膜の摩擦および摩耗特牲
高周波マグネトロン同時スパッタ法により形成したSiC-TiおよびSiC-Al薄膜の摩擦および摩耗特牲
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高频磁控管同时溅射法形成SiC-Ti和SiC-Al薄膜的摩擦磨损特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
廣田悟史
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加藤昌彦;中佐啓治郎;鄭 錦華;廣田悟史
