Piezo Impact Driven X-Y stage for Accurate Micro Lens Alignment
Piezo Impact Driven X-Y stage for Accurate Micro Lens Alignment
复制标题
用于精确微透镜对准的压电冲击驱动 X-Y 平台
DOI：
--
复制
发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hisayuki Aoyama
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yuuka Irie;Hisayuki Aoyama
