S.Miyake, Y.Setsuhara, Y.Sakawa and T.Shoji: "Development of High Density RF Plasma and Application to PVD"Surf.Coat.Technol.. 131. 171-176 (2000)
S.Miyake, Y.Setsuhara, Y.Sakawa and T.Shoji: "Development of High Density RF Plasma and Application to PVD"Surf.Coat.Technol.. 131. 171-176 (2000)
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S.Miyake、Y.Setsuhara、Y.Sakawa 和 T.Shoji：“高密度 RF 等离子体的开发及其在 PVD 中的应用”Surf.Coat.Technol.. 131. 171-176 (2000)
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