放射光を用いたアモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する評価

放射光を用いたアモルファスIn2O3系薄膜の結晶化に関する評価
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使用同步辐射评估非晶 In2O3 薄膜的结晶

DOI:
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发表时间:
2019
期刊:
九州シンクロトロン光研究センター2017年報
影响因子:
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通讯作者:
重里有三
重里有三
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
賈軍軍;岡島敏浩;重里有三

文献摘要

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