T.Yasui, T.Uchizono, M.Koujina, H.Tahara, T.Yoshikawa: "Plasma Diagnostics on ECR Plasma Sputtering for Carbon Nitride Deposition"Proceedings of 15^<th> International Symposium on Plasma Chemistry. 6. 2298-2303 (2001)
T.Yasui, T.Uchizono, M.Koujina, H.Tahara, T.Yoshikawa: "Plasma Diagnostics on ECR Plasma Sputtering for Carbon Nitride Deposition"Proceedings of 15^<th> International Symposium on Plasma Chemistry. 6. 2298-2303 (2001)
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T.Yasui、T.Uchizono、M.Koujina、H.Tahara、T.Yoshikawa：“氮化碳沉积 ECR 等离子体溅射的等离子体诊断”第 15 届国际等离子体化学研讨会论文集。
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