Suppression of Cu Oxidation using Environmentally FriendlyInhibitors in the Ambience of High Temperature and High Humidity for Cu/Low-K. .
Suppression of Cu Oxidation using Environmentally FriendlyInhibitors in the Ambience of High Temperature and High Humidity for Cu/Low-K. .
复制标题
Cu/Low-K 在高温高湿环境下使用环保抑制剂抑制 Cu 氧化。
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Sugino
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Hara;D. Watanabe;C. Kimura;H. Aoki;T. Sugino
