二元スパッタリングで成膜されたSi含有DLC膜のトライボ特性
二元スパッタリングで成膜されたSi含有DLC膜のトライボ特性
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二元溅射沉积含Si DLC薄膜的摩擦特性
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田 貴之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
三輪 侑生;小田 昭紀;上坂 裕之;太田 貴之
