PLOWING ON THE SUB-50 NM SCALE : NANOLITHOGRAPHY USING SCANNING FORCE MICROSCOPY
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DOI：
10.1002/(sici)1521-4095(199912)11:17
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发表时间：
1999-12
影响因子：
29.4
通讯作者：
U. Kunze;B. Klehn
中科院分区：
文献类型：
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作者：
U. Kunze;B. Klehn
