高熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第2報)-音響インピーダンス界面間共振モード解析による多層膜厚計測技術-
高熱変換効果による不透明多層膜厚計測技術(第2報)-音響インピーダンス界面間共振モード解析による多層膜厚計測技術-
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利用高热转换效应的不透明多层膜厚度测量技术（第2报告） - 利用声阻抗界面共振模式分析的多层膜厚度测量技术 -
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中川友喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
奥田貴啓;石丸伊知郎;中川友喜
