Side-Wall電極型PECVDによるSiナノドットメモリ
Side-Wall電極型PECVDによるSiナノドットメモリ
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使用侧壁电极型PECVD的硅纳米点存储器
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
冬木隆
中科院分区：
文献类型：
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作者：
市川和典;向正人;P.Punchaipetch;矢野裕司;畑山智亮;浦岡行治;冬木隆
