FETインバータ電源を用いた高周波プラズマ生成
FETインバータ電源を用いた高周波プラズマ生成
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使用 FET 逆变器电源产生高频等离子体
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
安藤晃
中科院分区：
文献类型：
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作者：
熊田陽一;中西一弘;Kazuhiro Nakanishi;Hiroyuki Imanaka;Hiroyuki Imanaka;熊田 陽一;今中 洋行;今中 洋行;前川真光;熊田陽一;中西 一弘;A. Ando;安藤晃
