表面窒化無酸素チタン蒸着ICFフランジの水素排気特性評価と放射光ビームラインへの応用
表面窒化無酸素チタン蒸着ICFフランジの水素排気特性評価と放射光ビームラインへの応用
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表面氮化无氧钛蒸发ICF法兰排氢特性评价及其在同步辐射束线中的应用
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
間瀬一彦
中科院分区:
文献类型:
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作者:
片岡竜馬;菊地貴司;間瀬一彦